Подложки GaN
- Диаметр до 4 дюймов
- Толщина 0.3 — 0.45 мм
- Одна/двухсторонняя полировка
- Ориентация <0001>
Описание
Нитрид галлия (GaN) обладает высокой теплопроводностью и радиационной стойкостью. GaN можно использовать не только в качестве широкозонного материала для коротковолновой оптоэлектроники, но и в качестве основного материала для высокотемпературных полупроводниковых устройств. Подложки из GaN могут быть использованы для изготовления зеленых светодиодов, сине-фиолетовых, ультрафиолетовых лазерных диодов, детекторов ультрафиолетового излучения и высокочастотных мощных электронных устройств.
Технические характеристики
Метод роста | HVPE | |
Диаметр | 2, 4″ | |
Толщина | 0.3, 0.35, 0.4, 0.45 мм | |
Кристаллографическая ориентация | C-axis <0001> | |
Допустимая разориентация | +/- 0.5 град | |
Легирование | Нелегированная, n- типа (легированная Si) | |
Концентрация примеси | (0.1 — 2)x1018 см-3 | |
Полировка | Односторонняя или двухсторонняя | |
Плотность поверхностных дефектов (EPD) | <500/cm2, другие по запросу | |
Шероховатость | Ra < 5A @ 5×5 мкм |