Пьезофазовый переключатель 20 мкм
- Перемещение 20 мкм
- Размер диафрагмы Φ154мм
- Грузоподъемность 10 кг
Описание
Технические характеристики
Активные оси | Z | ||
Диапазон перемещения (0 ~ 120 В) | 16 | μm±10% | |
Диапазон перемещения (0 ~ 150 В) | 20 | μm±10% | |
Датчик | SGS / — | ||
Диафрагма | Φ 154 | mm | |
разрешение | 0.5 | нм | |
Тангаж / рыскание / крен | <10 | мкрад | |
Толкающая / тянущая сила | 50/30 | N | |
Разгруженный резонансный
частота |
1300 | Hz±20% | |
Выгруженное время шага | 3.5/2 | ms±20% | |
Нагрузка
емкость |
В вертикальном положении | 25 | kg |
Боковой | 20 | ||
Перевернутый | 20 | ||
Емкость | 14.4 | μF±20% | |
Материал | Алюминий, сталь | ||
Масса | 6000 | g±5% | |
Operatingtemperature | -20~80 | ℃ | |
Коннектор | ЛЕМО | ||
Длинна кабеля | 1.5 | m±10mm |