Описание
Оптический толщинометр SM280 — это автоматический микроскопический картограф толщины тонких пленок, разработанный на основе принципа оптической интерференции отраженного света в тонких пленках. Устройство рассчитано на работу в широком диапазоном спектра от 200 до 1700нм с вертикальным направлением падения пучка излучения на поверхность образца. SM280 может рассчитать толщину тонкой пленки в соответствии с отраженным интерференционным спектром, а также другими оптическими константами, такими как коэффициент отражения, показатель преломления, коэффициент экстинкции и т. д., Диапазон измеряемых значений толщин может достигать 10 нм ~ 100 мкм. В автоматическом картографе толщины пленки SM280 используется микроскопическая система, которая может еще больше уменьшить размер пятна излучения, тем самым достигая очень хорошего пространственного разрешения. В то же время SM280 имеет интегрированную конструкцию, состоящую из высокочувствительного спектрометра с высоким разрешением и высокоточного 3-осевого позиционера. В сочетании с уникальным алгоритмом обработки данных устройство позволяет пользователям точно измерять толщину пленки в автоматическом режиме и производить картирование с высоким пространственным разрешением.




