Мишени-силициды
- Технология керамических мишеней
- Уровень чистоты выше 99.5 %
- Геометрия планарная
Описание
Силицид — это соединение кремния с (обычно) более электроположительными элементами. Кремний более электроположителен, чем углерод. Силициды структурно ближе к боридам, чем к карбидам. Подобно боридам и карбидам, состав силицидов не может быть однозначно определен как ковалентные молекулы. Химические связи в силицидах варьируются от проводящих металлоподобных структур до ковалентных или ионных. Мы предлагаем мишени-силициды для напыления, включающие CrSi, CrSi2, Fe3Si, Mg2Si, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi2.
Технические характеристики
Химическая формула | Геометрия мишени | Чистота материала |
CrSi | Planar | 99.50% |
CrSi2 | Planar | 99.50% |
Fe3Si | Planar | 99.50% |
Mg2Si | Planar | 99.50% |
MoSi2 | Planar | 99.50% |
TaSi2 | Planar | 99.50% |
TiSi2 | Planar | 99.50% |
WSi2 | Planar | 99.50% |