Подложки Ge
- Диаметр до 6 дюймов
- Толщина 0.3 — 1 мм
- Одна/двухсторонняя полировка
- Ориентация <100>, <110>, <111>
Описание
Германий обладает множеством уникальных свойств: хорошая химическая стабильность, высокая коррозионная стойкость, простота обработки, высокий и равномерный коэффициент пропускания, высокий показатель преломления, высокая радиационная стойкость, высокая частота и хорошие фотоэлектрические характеристики. Подложки из германия можно использовать для изготовления полупроводниковых приборов, инфракрасной оптики и каскадных солнечных элементов.
Технические характеристики
Метод роста | CZ | |
Диаметр | 2, 3, 4, 6″ | |
Толщина | 0.33, 0.43, 0.5, 1.0 мм | |
Кристаллографическая ориентация | <100>, <110>, <111> | |
Допустимая разориентация | +/- 0.5 град | |
Легирование | Нелегированная, p-типа (легированная In/Ga), n- типа (легированная Sb) | |
Полировка | Односторонняя или двухсторонняя | |
Шероховатость | Ra < 5A @ 5×5 мкм |