ATGX310 - это серия оптических тощинометров для лабораторных исследований тонких пленок. Представляет собой простую конструкцию с выносным оптическим зондом для точечного измерения толщины прозрачных/полупрозрачных пленок из различных материалов. Конструкция устройства состоит из дейтерий-галогенового или вольфрам-галогенового источника излучения, высокочувствительного спектрометра и оптического зонда Y-типа, работающего на принципе детектирования отраженного от слоев пленки интерференционного сигнала.
Применение:| Модель | ATGX310-VIS | ATGX310-XR | ATGX310-DUV | ATGX310-NIR |
| Рабочий диапазон спектра | 400-850нм | 250-1060нм | 190-1100нм | 900-1700нм |
| Диапазон измеряемой толщины | 50 нм-20 мкм | 10 нм-100 мкм | 1 нм-100 мкм | 100 нм-250 мкм |
| Разрешение по толщине | 0,1 нм | 0,1 нм | 0,1 нм | 0,1 нм |
| Повторяемость | 0,3 нм | 0,3 нм | 0,3 нм | 1,0 нм |
| Угол падения излучения | 90° | 90° | 90° | 90° |
| Количество слоев пленки | До 10 слоев | До 10 слоев | До 10 слоев | До 10 слоев |
| Образец | Прозрачная или полупрозрачная пленка | Прозрачная или полупрозрачная пленка | Прозрачная или полупрозрачная пленка | Прозрачная или полупрозрачная пленка |
| Режим измерения | точечный, отражение/пропускание | точечный, отражение/пропускание | точечный, отражение/пропускание | точечный, отражение/пропускание |
| Грубое измерение толщины пленки | Да | Да | Да | Да |
| Минимальная скорость измерения | 1 мс | 1 мс | 1 мс | 1 мс |
| Размер освещаемого участка | 200 мкм / 400 мкм | 200 мкм/400 мкм | 200 мкм/400 мкм | 200 мкм/400 мкм |
| Диапазон сканирования по поверхности | 150ммX300мм | 150ммX300мм | 150ммX300мм | 150ммX300мм |
| Тип позиционера | &
Оптический микротолщинометр SM280
1 ₽
шт
Оптический толщинометр SM230
1 ₽
шт
Толщинометры тонких пленок SM200
1 ₽
шт
|