Пьезо-нанопозиционные сканеры 200-600 мкм
- Перемещение 600 мкм
- Размер диафрагмы 45×45 мм
- От 1 до 3 осей на выбор
Пьезофазовый переключатель 100 мкм
- Перемещение 0~100 мкм
- Размер диафрагмы Φ75 мм
- Грузоподъемность 3 кг
- Размер Φ145 × 33 мм
Пьезофазовый переключатель 20 мкм
- Перемещение 20 мкм
- Размер диафрагмы Φ154мм
- Грузоподъемность 10 кг