| Метод роста | CZ | |
| Диаметр | 2, 3, 4, 6" | |
| Толщина | 0.33, 0.43, 0.5, 1.0 мм | |
| Кристаллографическая ориентация | <100>, <110>, <111> | |
| Допустимая разориентация | +/- 0.5 град | |
| Легирование | Нелегированная, p-типа (легированная In/Ga), n- типа (легированная Sb) | |
| Полировка | Односторонняя или двухсторонняя | |
| Шероховатость | Ra < 5A @ 5x5 мкм | |