| Материал | Обозначение | Чистота материала | Геометрия мишени |
| Алюминий | Al | 99.99-99.999% | Планарная/дисковая |
| Сурьма | Sb | 99.99-99.99999% | Планарная/дисковая |
| Барий | Ba | 99.50% | Планарная/дисковая |
| Бериллий | Be | 98-99.9% | Планарная/дисковая |
| Висмут | Bi | 99.9-99.999% | Планарная/дисковая |
| Бор | B | 99.50% | Планарная/дисковая |
| Кадмий | Cd | 99.99% | Планарная/дисковая |
| Кальций | Ca | 99.50% | Планарная/дисковая |
| Углерод | C | 99.999% | Планарная/дисковая |
| Углерод (пирографит) | C | 99.99% | Планарная/дисковая |
| Серий | Ce | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Хром | Cr | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Кобальт | Co | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Медь | Cu | 99.99-99.999% | Планарная/дисковая |
| Диспрозий | Dy | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Эрбий | Er | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Европий | Eu | 99.50% | Планарная/дисковая |
| Гадолиний | Gd | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Германий | Ge | 100.00% | Планарная/дисковая |
| Золото | Au | 99.99-99.999% | Планарная/дисковая |
| Гафний | Hf | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Гольмий | Ho | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Индий | In | 99.99- 99.9999% | Планарная/дисковая |
| Иридий | Ir | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Железо | Fe | 99.9 99.95% | Планарная/дисковая |
| Лантан | La | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Свинец | Pb | 100.00% | Планарная/дисковая |
| Литий | Li | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Лютеций | Lu | 99.50% | Планарная/дисковая |
| Магний | Mg | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Марганец | Mn | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Молибден | Mo | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Неодим | Nd | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Никель | Ni | 99.7, 99.995% | Планарная/дисковая |
| Ниобий | Nb | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Палладий | Pd | 99.95% | Планарная/дисковая |
| Платина | Pt | 99.99% | Планарная/дисковая |
| Празеодим | Pr | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Рений | Re | 99.90% | Планарная/дисковая |
| Родий | Rh | 99.95% | Планарная/дисковая |
|
|