| Активные оси |
X |
Z |
Z |
Z |
X 、 Y |
X 、 Z |
X 、 Y 、 Z |
||
| Номинальный ход (0 ~ 120 В) |
160 |
160 |
320 |
480 |
160 / ось |
160 / ось |
160 / ось |
мкм ± 20% |
|
| Путешествие (0 ~ 150 В) |
200 |
200 |
400 |
600 |
200 / ось |
200 / ось |
200 / ось |
мкм ± 20% |
|
| Тип датчика |
SGS / - |
SGS / - |
SGS / - |
SGS / - |
SGS / - |
SGS / - |
SGS / - |
||
| Разрешение разомкнутого контура |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
нм |
|
| Линейность |
0,3 / - |
0,3 / - |
0,4 / - |
0,5 / - |
0,4 / - |
0,4 / - |
0,5 / - |
% FS |
|
| Повторяемость |
0,2 / - |
0,2 / - |
0,3 / - |
0,4 / - |
0,3 / - |
0,3 / - |
0,4 / - |
% FS |
|
| Ненагруженная резонансная частота |
160 |
160 |
130 |
80 |
X160 / Y140 |
X160 / Z140 |
X150 / Y130 / Z90 |
Гц ± 20% |
|
| Грузоподъемность |
0,5 |
0,5 |
0,4 |
0,3 |
Коллимирующие модули
1 ₽
шт
Расширители пучка CO2-лазера
1 ₽
шт
Лазерный коллиматор
1 ₽
шт
| ||||