| Активные оси | Z | |
| Диапазон перемещения (0 ~ 120 В) | 80 | μ м ± 1 0% |
| Диапазон перемещения (0 ~ 150 В) | 100 | μ м ± 1 0% |
| Диафрагма | Φ 75 | мм |
| Длина / OD | Φ 145 | мм |
| Высота | 33 | мм |
| разрешение | 20/10 | нм |
| Грузоподъемность | Перевернутый 3 | кг |
| Электрическая емкость | 21,6 | М F ± 20% |
| Масса | 350 | г ± 5% |
| Рабочая Температура | -20 ~ 80 | ℃ |
| Контроль | 2 канала | |
| Connector | LEMO | |
| Длинна кабеля | 1.5 | м ± 10 мм |