Мишени-нитриды
- Технология керамических мишеней
- Уровень чистоты выше 99.5 %
- Геометрия планарная
Описание
Нитрид представляет собой соединение азота, в котором азот имеет формальную степень окисления 3-. Нитриды представляют собой большой класс соединений с широким спектром свойств и областей применения. Как и карбиды, нитриды часто являются тугоплавкими материалами из-за высокой энергии связи в кристаллической решетке благодаря сильному притяжению «N3-» к катиону металла. Так, нитрид титана и нитрид кремния используются в качестве режущих материалов и твердых покрытий. Гексагональный нитрид бора (слоистая структура) является полезной высокотемпературной смазкой, аналогичной дисульфиду молибдена. Нитридные соединения часто имеют большую ширину запрещенной зоны. Таким образом, нитриды обычно являются изоляторами или широкозонными полупроводниками. Примеры включают нитрид бора и нитрид кремния. Мы предлагаем мишени-нитриды для напыления, включающие AlN, BN, CrN, HfN, NbN, Si3N4, TaN, TiN, ZrN.
Технические характеристики
Химическая формула | Геометрия мишени | Чистота материала |
AlN | Planar | 99.50% |
BN | Planar | 99.50% |
CrN | Planar | 99.50% |
HfN | Planar | 99.50% |
NbN | Planar | 99.50% |
Si3N4 | Planar | 99.90% |
TaN | Planar | 99.50% |
TiN | Planar | 99.50% |
ZrN | Planar | 99.50% |