Подложки Si
- Диаметр до 12 дюймов
- Толщина от 0.3 до 1 мм
- Одна/двухсторонняя полировка
- Ориентация <100>, <110>, <111>
Описание
Кремний широко используется в полупроводниковой промышленности для изготовления функциональных полупроводниковых материалов, мощных транзисторов, выпрямителей и солнечных элементов. Мы предлагаем кремниевые подложки диаметром от 1 до 12 дюймов, p/n — типа или нелегированные. Также доступны для заказы структуры «кремний на изоляторе» (SOI).
Технические характеристики
Метод роста | CZ, MCZ, FZ | |
Диаметр | 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12″ | |
Толщина | 0.3- 0.5 мм, 1.0 мм | |
Кристаллографическая ориентация | <100>, <110>, <111> | |
Допустимая разориентация | +/- 0.5 град | |
Легирование | Нелегированная, p-типа (легированная B), n- типа (легированная P) | |
Полировка | Односторонняя или двухсторонняя |