Автоматическая установка сортировки пластин
- Оптическое картирование и сортировка пластин
- Проверка после сортировки
- Работа с пластинами диаметром до 200 мм
- Большой объем выходного лотка
Описание
Автоматическая установка сортировки пластин предназначена для составления карты выхода годных чипов на стадии эпитаксиальных пластин в процессах производства лазерных диодов, светодиодов, фотоприемных устройств и других устройств оптоэлектроники и микроэлектроники, где необходим промежуточный контроль качества продукции.