Пьезо-нанопозиционные сканеры 200-600 мкм

Описание

Активные оси	X	Z	Z	Z	X 、 Y	X 、 Z	X 、 Y 、 Z
Номинальный ход (0 ~ 120 В)	160	160	320	480	160 / ось	160 / ось	160 / ось	мкм ± 20%
Путешествие (0 ~ 150 В)	200	200	400	600	200 / ось	200 / ось	200 / ось	мкм ± 20%
Тип датчика	SGS / —	SGS / —	SGS / —	SGS / —	SGS / —	SGS / —	SGS / —
Разрешение разомкнутого контура	20	20	20	20	20	20	20	нм
Линейность	0,3 / —	0,3 / —	0,4 / —	0,5 / —	0,4 / —	0,4 / —	0,5 / —	% FS
Повторяемость	0,2 / —	0,2 / —	0,3 / —	0,4 / —	0,3 / —	0,3 / —	0,4 / —	% FS
Ненагруженная резонансная частота	160	160	130	80	X160 / Y140	X160 / Z140	X150 / Y130 / Z90	Гц ± 20%
Грузоподъемность	0,5	0,5	0,4	0,3	0,4	0,4	0,3	кг ± 5%
Эл. Емкость	7.2	7.2	14,4	21,6	7.2 / ось	7.2 / ось	7.2 / ось	мкФ ± 20%
Материал	Сталь, Al	Сталь, Al	Сталь, Al	Сталь, Al	Сталь, Al	钢、铝	Сталь, Al